La tecnologia de canonades de gas d’alta puresa és una part important del sistema de subministrament de gas d’alta puresa, que és la tecnologia clau per oferir el gas d’alta puresa requerit fins al punt d’ús i mantenir la qualitat qualificada; La tecnologia de canonades de gas d’alta puresa inclou el disseny correcte del sistema, la selecció d’accessoris i accessoris, construcció i instal·lació i proves. En els darrers anys, els requisits cada cop més estrictes sobre el contingut de puresa i impuresa dels gasos d’alta puresa en la producció de productes de microelectrònica representats per circuits integrats a gran escala han fet que la tecnologia de canonades de gasos d’alta puresa sigui cada cop més preocupada i destacada. A continuació, es mostra una breu visió general de les canonades de gas d’alta puresa a partir de la selecció de materialsof Construcció, així com acceptació i gestió diària.
Tipus de gasos comuns
Classificació de gasos comuns a la indústria de l'electrònica：
Gasos comuns（Gas a granel）: hidrogen (h2), nitrogen (N2), oxigen (o2), Argon (a2), etc.
Gasos especialitzatssón Sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,SIF4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2o,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Els tipus de gasos especials es poden classificar generalment com a corrosiusgas, tòxicgas, inflamablegas, combustiblegas, inertgas, etc. Els gasos semiconductors utilitzats generalment es classifiquen de la manera següent.
(i) corrosiu / tòxicgas: Hcl, bf3, WF6, HBr, Sih2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCL3... etc.
(ii) Inflamabilitatgas: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch3F, CO ... etc.
(iii) combustibilitatgas: O2, Cl2, N2O, NF3... etc.
(iv) inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, Ne, kr, he ... etc.
Molts gasos semiconductors són nocius per al cos humà. En particular, alguns d'aquests gasos, com sih4 La combustió espontània, sempre que una fuga reaccionarà violentament amb l’oxigen a l’aire i començarà a cremar -se; i Ash3Altament tòxic, qualsevol fuga lleugera pot causar el risc de vida humana, és a causa d’aquests perills evidents, de manera que els requisits per a la seguretat del disseny del sistema són especialment elevats.
Àmbit d'aplicació dels gasos
Com a important matèria primera bàsica de la indústria moderna, els productes de gas s’utilitzen àmpliament i s’utilitzen un gran nombre de gasos comuns o gasos especials en metal·lúrgia, acer, petroli, indústria química, maquinària, electrònica, vidre, ceràmica, materials de construcció, construcció, processament d’aliments, medicina i sectors mèdics. L’aplicació del gas té un impacte important en l’alta tecnologia d’aquests camps en particular i és el seu gas de matèria primera indispensable o gas de procés. Només amb les necessitats i la promoció de diversos nous sectors industrials i la ciència i la tecnologia modernes, els productes de la indústria del gas es poden desenvolupar per salts i límits en termes de varietat, qualitat i quantitat.
Aplicació de gas a la microelectrònica i la indústria de semiconductors
L’ús del gas sempre ha tingut un paper important en el procés de semiconductors, especialment el procés de semiconductors s’ha utilitzat àmpliament en diverses indústries, des del tradicional Ulsi, TFT-LCD fins a la indústria micro-electro-mecànica (MEMS) tradicional, que utilitzen l’anomenat procés semiconductor com a procés de fabricació de productes. La puresa del gas té un impacte decisiu en el rendiment dels components i els rendiments del producte, i la seguretat del subministrament de gas està relacionada amb la salut del personal i la seguretat de les operacions vegetals.
La importància de les canonades d’alta puresa en el transport de gas d’alta puresa
En el procés de fusió i fabricació d’acer inoxidable, es poden absorbir uns 200 g de gas per tona. Després del processament d’acer inoxidable, no només la seva superfície enganxosa amb diversos contaminants, sinó també en la seva gelosia metàl·lica també va absorbir una certa quantitat de gas. Quan hi ha flux d’aire a través del gasoducte, el metall absorbeix aquesta part del gas tornarà a entrar al flux d’aire, contaminant el gas pur. Quan el flux d’aire del tub és un flux discontinu, el tub adsorbeix el gas a pressió, i quan el flux d’aire deixa de passar, el gas adsorbit pel tub forma una caiguda de pressió per resoldre i el gas resolt també entra el gas pur en el tub com a impulsor. Al mateix temps, es repeteix l’adsorció i la resolució, de manera que el metall de la superfície interior del tub també produeix una certa quantitat de pols, i aquestes partícules de pols metàl·liques també contaminen el gas pur dins del tub. Aquesta característica del tub és essencial per assegurar la puresa del gas transportat, cosa que requereix no només una suavitat molt alta de la superfície interior del tub, sinó també una alta resistència al desgast.
Quan s’utilitza el gas amb un fort rendiment corrosiu, s’han d’utilitzar canonades d’acer inoxidable resistents a la corrosió per a la canalització. En cas contrari, la canonada produirà taques de corrosió a la superfície interior a causa de la corrosió i, en casos greus, hi haurà una gran àrea de stripping metàl·lica o fins i tot de perforació, que contaminarà el gas pur que es distribuirà.
La connexió de canonades de transmissió i distribució de gasos de gran puresa i de gran neteja de grans cabals.
En principi, tots estan soldats i els tubs utilitzats no tenen cap canvi en l’organització quan s’aplica la soldadura. Els materials amb un contingut de carboni massa elevat estan sotmesos a la permeabilitat de l’aire de les parts soldades quan la soldadura, cosa que fa la penetració mútua dels gasos dins i fora de la canonada i destrueix la puresa, la sequedat i la neteja del gas transmès, donant lloc a la pèrdua de tots els nostres esforços.
En resum, per a gasoductes de transmissió especial de gas i gas especial, és necessari utilitzar un tractament especial de canonades d’acer inoxidable d’alta puresa, per fer un sistema de canonades d’alta puresa (inclosos canonades, accessoris, vàlvules, VMB, VMP) en la distribució de gas d’alta puresa ocupa una missió vital.
Concepte general de tecnologia neta per a canonades de transmissió i distribució
La transmissió del cos de gas altament pur i net amb canonades significa que hi ha certs requisits o controls per transportar tres aspectes del gas.
Puresa de gas: el contingut de l’atmosfera d’impuresa a la puresa GGAS: el contingut de l’atmosfera d’impuresa en el gas, normalment expressat en un percentatge de puresa de gas, com el 99.9999%, també expressat com a proporció de volum de contingut d’atmosfera d’impuresa PPM, PPB, PPT.
Soci: la quantitat d’humitat de traça en el gas o la quantitat anomenada humitat, normalment expressada en termes de punt de rosada, com ara la pressió atmosfèrica Punt -70. C.
Neteja: el nombre de partícules contaminants contingudes en el gas, la mida de les partícules de µm, quantes partícules/m3 per expressar, per a l’aire comprimit, normalment també expressats en termes de quants mg/m3 de residus sòlids inevitables, que cobreixen el contingut d’oli.
Classificació de la mida contaminant: partícules contaminants, es refereix principalment a la fixació de canonades, el desgast, la corrosió generades per partícules metàl·liques, les partícules de sutge atmosfèriques, així com els microorganismes, els fagos i les gotes de condensació de gas que contenen humitat, etc.
a) Partícules grans: mida de partícules per sobre de 5 μm
b) Diàmetre de partícula entre el material entre 0,1μm-5 μm
C) partícules ultra-micro-mida de partícules inferior a 0,1 μm.
Per tal de millorar l’aplicació d’aquesta tecnologia, per poder comprendre la mida de les partícules i les unitats μm, es proporciona un conjunt d’estat de partícules específics
A continuació es mostra una comparació de partícules específiques
| Nom /mida de partícula (µm) | Nom /mida de partícula (µm) | Nom/ mida de partícula (µm) |
| Virus 0,003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Microdroplet aerosolitzat 1-12 |
| Combustible nuclear 0,01-0,1 | Pintura 0,1-6 | Fly Ash 1-200 |
| Negre de carboni 0,01-0,3 | Llet en pols 0,1-10 | Pesticida 5-10 |
| Resina 0,01-1 | Bacteris 0,3-30 | Pols de ciment 5-100 |
| Fum de cigarretes 0,01-1 | Pols de sorra 0,5-5 | Pol·len 10-15 |
| Silicona 0,02-0.1 | Pesticida 0,5-10 | Pèl humà 50-120 |
| Sal cristal·litzada 0,03-0,5 | Pols de sofre concentrat 1-11 | Sorra de mar 100-1200 |
Post Horari: 14-2022 de juny