L'ús de gasos a la indústria de semiconductors es remunta a principis dels anys 1950 i 1960. Durant el procés de fabricació de semiconductors, els gasos s’utilitzen principalment per netejar i protegir els materials de semiconductors per assegurar la seva puresa i qualitat. Entre els gasos més utilitzats hi ha el nitrogen i l’hidrogen.
A mesura que la tecnologia de semiconductors desenvolupada i els processos de fabricació van continuar millorant, la demanda de gasos va augmentar. El 1970, el desenvolupament posterior de la tecnologia de fabricació de semiconductors, l’aplicació de gasos en processos clau com el gravat i la deposició de pel·lícules primes van augmentar gradualment, i els gasos de fluor (per exemple SF6) i l’oxigen es van utilitzar habitualment de gravat i de deposició de gasos. El 1980 es va augmentar la demanda de gasos amb el desenvolupament de circuits integrats i l'augment de la demanda. L’hidrogen es va utilitzar àmpliament en el procés de fabricació, incloent el recuit d’hidrogen i la deposició de vapor d’hidrogen. I des del 1990 fins a l’actualitat, la demanda de gasos d’alta puresa i gasos específics ha augmentat a mesura que les mides dels dispositius semiconductors s’han continuat reduint i s’han introduït nous processos. Per exemple, l’aplicació de litografia ultraviolada extrema (EUV) requereix l’ús de gasos extremadament d’alta puresa com el nitrogen i l’hidrogen.
El gas semiconductor continua augmentant amb el desenvolupament de productes relacionats impulsats per més i més productes, mentre que el gas també pertany a la font de perill, de manera que els productes utilitzats per a la descompressió de gas, els productes de detecció de gas i evitar que els productes de fuites de gasos han aparegut com ara reguladors de pressió, vàlvules de gas, calibres de pressió de gas, detector de fuites de gas, etc.
Reguladors de pressió: Els reguladors de pressió són dispositius utilitzats per controlar la pressió del gas. Normalment consisteixen en una vàlvula reguladora i un sensor de pressió. Els reguladors de pressió prenen una entrada de gas a alta pressió i estabilitzen la pressió del gas de sortida ajustant la vàlvula per complir els requisits d’aplicació específics. Els reguladors de pressió s’utilitzen àmpliament en zones com la indústria, la fabricació i els laboratoris, així com en la indústria dels semiconductors, entre d’altres, per assegurar l’estabilitat i la seguretat del subministrament de gas.
Vàlvules de gas: les vàlvules de gas s’utilitzen per controlar el flux de gasos i per tancar els passatges de gas. Normalment tenen una funció ON/OFF que obre o tanca el flux de gas. Hi ha diversos tipus de vàlvules de gas, incloses vàlvules manuals, vàlvules elèctriques i vàlvules pneumàtiques. S’utilitzen àmpliament en sistemes de gas per controlar el flux, la pressió i el cabal de gasos.
Madees de pressió de gas: els calibres de pressió del gas s’utilitzen per mesurar el nivell de pressió d’un gas. Normalment s’instal·len en llocs crítics en sistemes de gas per controlar els canvis de pressió i assegurar -se que estiguin dins de límits segurs. Els calibres de pressió de gas s’utilitzen àmpliament a la indústria, la fabricació i els laboratoris i la indústria dels semiconductors també ha participat.
Detectors de fuites de gas: els detectors de fuites de gas s’utilitzen per detectar fuites en els sistemes de gas. DetectenLa presència de fuites de gas i sonar una alarma de manera que es puguin emprendre accions puntuals per evitar accidents de fuites. Els detectors de fuites de gas s’utilitzen àmpliament en aplicacions industrials, químiques, de petroli i gas, i la indústria dels semiconductors també ha participat.
Posada a l’hora: el 20 de febrer de 2024