Els diferents productes químics i gasos utilitzats en la fabricació de semiconductors requereixen sistemes de líquids robustos per a un subministrament ininterromput en cada etapa de producció. Aquests sistemes de fluids han de ser capaços de donar suport a les condicions del procés extremes necessàries per a la fabricació de semiconductors alhora que garanteixen un procés net, sense filtracions i controlat. Per tant, la selecció de components del sistema de fluids és fonamental en el procés de fabricació de semiconductors de precisió.
L’elecció de components del sistema de fluids d’alta qualitat és sinònim d’augment d’eficiència de fabricació i reducció del temps d’inactivitat del sistema. Pel que fa al procés de fabricació de semiconductors, discutirem el paper crític dels components del sistema de fluids i la importància de la seva fiabilitat.
Importància dels components del sistema fluid en la fabricació de semiconductors
Els components del sistema de fluids en la fabricació de semiconductors inclouen diferents sistemes de mescla, transport i control químics per transportar líquids químics en un entorn controlat. Un sistema de fluids ideal té:
➢ Mescla química uniforme
➢ CONTROL DE CONTAMINACIÓ
➢Tempertura i control de la pressió
➢
Només els components de màxima qualitat poden proporcionar condicions ideals en un sistema de fluids semiconductors. Els avantatges d’utilitzar aquests components inclouen:
Exactius: components com les vàlvules, els reguladors i les bombes funcionen en conjunt per assegurar -se que la proporció correcta de productes químics es lliura a la cèl·lula de producció. Les entrades precises eliminen el risc de variacions de flux, cosa que millora la qualitat del producte final.
Compatibilitat i neteja: els components del sistema de fluids amb composicions de materials compatibles amb els líquids de procés redueixen el risc de contaminació. A més, la instal·lació sense fuites d’aquests components del sistema fluid redueix els contaminants de partícules, proporcionant un entorn de fabricació net i controlat per millorar els rendiments.
Seguretat: els gasos i els productes químics utilitzats en la fabricació de semiconductors poden resultar nocius per a la salut humana. No obstant això, els components del sistema de fluids dissenyats per prevenir fuites i vessaments poden lliurar aquests fluids a les unitats de producció de manera segura i controlada.
Eficiència: la construcció sense filtracions i el control precís dels components del sistema de fluids d’alta qualitat minimitza els temps d’inactivitat operativa i els requisits de manteniment freqüents, promovent una fabricació suau i eficient per assolir els objectius de producció.
Solucions de components del sistema de fluids fabricats de qualitat
Els components del sistema fluid requereixen instal·lacions d’alta qualitat per afrontar els reptes de la fabricació de semiconductors. Els components clau que afecten el FAB inclouen:
Vàlvules: vàlvules d’alt rendiment, com ara diafragma, manxa o vàlvules d’agulla, regulen idealment el flux de líquids a les instal·lacions de fabricació. Les vàlvules duradores i d’alta qualitat proporcionen la precisió i el control necessaris per millorar l’eficiència de la producció i els processos de manipulació per a la fabricació crítica de semiconductors.
Accessoris: accessoris d’alta puresa per a sistemes de tubs i mànegues i altres components crítics proporcionen connexions segellades per millorar la seguretat i la puresa dels components del sistema de fluids.
Mànegues: per als requisits de fabricació de precisió, les mànegues aïllades ajuden a la gestió tèrmica de manera que es puguin mantenir de manera òptima les condicions de procés a la sala de producció. Això és important perquè la més mínima fluctuació de la temperatura pot danyar els xips i provocar residus de producció.
Tub flexible: on les condicions ho permeten, es pot utilitzar tubs flexibles per reduir el nombre d’accessoris en un conjunt del sistema de fluids. El tub es doblega per obtenir la ruta del fluid desitjada. Menys accessoris significa menys risc de fuites i danys a causa de la vibració i el moviment.
Reguladors: Els reguladors controlen eficaçment la pressió en cada etapa del procés de fabricació de semiconductors. El flux constant i precís aconsegueix rendiments consistents i d’alta qualitat, evitant productes químics de fluids malgastats i materials especialitzats.
Filtres: una sola partícula pot afectar el rendiment del semiconductor. L'ús de filtres de puresa ultra alta elimina la contaminació de partícules i minimitza els danys del xip.
L’eficiència del sistema de fluids en la fabricació de semiconductors es pot aconseguir amb l’àmplia gamma AFK-Lok de vàlvules, accessoris, reguladors, mànegues i filtres d’alta qualitat.
Posada Posada: 09-2023 d'octubre