1 | Pressió màxima de treball 20,6 Mpa. |
2 | Màx.temperatura de treball 204 ℃ (ambient d'alta temperatura fins a 454 ℃, en aquest moment el material de segellat es substitueix per grafit expandit) |
3 | Sistema de filtre S'apliquen partícules contaminants, gasos i líquids. |
4 | Precisió del filtre de filtre sinteritzat de metal·lúrgia en pols d'acer inoxidable 2μm ~ 40μm |
5 | Flux del filtre 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | El filtre es pot canviar. |
Característiques del producte de Filtre
1 | Ampli rang d'aplicació, rang de cabal de 15 a 300 SL / min. |
2 | Té una bona compatibilitat amb la majoria de gasos de procés de semiconductors d'alta puresa. |
3 | La capacitat de filtració de 3 nanopartícules manté una alta eficiència de flux i una caiguda de pressió ultra petita. |
4 | La superfície electropolitada 5Ra pot evitar la contaminació interna. |
5 | Coure amb nitrogen calent després d'aigua desionitzada per complir amb els estàndards de procés de semiconductors. |
6 | Entorn de fabricació, neteja i embalatge de tallers asèptics sense pols de 1000 nivells. |
7 | Prova de fuites d'heli 100%. |
Entrada | Outlet | |
1 | Encaix de tub d'1/8″ | Encaix de tub d'1/8″ |
2 | Encaix de tub d'1/4 " | Encaix de tub d'1/4 " |
3 | Racor de tub de 3/8″ | Racor de tub de 3/8″ |
4 | Encaix de tub d'1/2 " | Encaix de tub d'1/2 " |
5 | Racor de tub de 6 mm | Racor de tub de 6 mm |
6 | Racor de tub de 8 mm | Racor de tub de 8 mm |
7 | Racor de tub de 10 mm | Racor de tub de 10 mm |
8 | Racor de tub de 12 mm | Racor de tub de 12 mm |
9 | 1/8″ NPT femella | 1/8″ NPT femella |
10 | 1/4″ NPT femella | 1/4″ NPT femella |
11 | 1/4″ Mascle NPT | 1/4″ Mascle NPT |
12 | NPT mascle de 3/8″ | NPT mascle de 3/8″ |
13 | NPT mascle de 1/2″ | NPT mascle de 1/2″ |
Paràmetres de rendiment del producte del filtre
1 | Precisió de filtratge | ≥0,0025μm | |
2 | Eficàcia de filtració | Taxa d'eliminació99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Flux nominal | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | Composició del filtre | element filtrant | 316L/PTFE |
9 | habitatge | acer inoxidable 316L | |
10 | Les condicions de treball | Màxima pressió d'entrada | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Pressió diferencial màxima | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Temperatura màxima de funcionament | 430 ℃ (gas inert) | |
13 | Taxa de fuita d'heli | 1×10-9 atm.cc/seg | |
14 | Acabat superficial | ≤Ra 5μin |